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MICRO-NANO
05
📏 国家级产业计量测试中心

国家集成电路微纳检测设备
产业计量测试中心

平台 05/10

国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心

中国尺量中国芯 · 皮米级纳米计量 · 国家科技进步一等奖

2024年1月获国家市场监督管理总局批准筹建,2025年10月正式落地松江科大智能产业园,由同济大学为主体、联合张江实验室共同筹建。中心瞄准集成电路产业"卡脖子"的纳米计量标准物质依赖进口问题,致力于将量子化的自然常数稳定转化为可使用的实物标准,为国产芯片制造提供自主可控的"纳米标准尺",实现"中国尺量中国芯"。

集成电路计量 纳米标准物质 量子化光晶格 皮米精度
核心数据

关键指标一览

🏆
国家一等奖
2025年度国家科技进步奖
📐
5项
国家一级标准物质
🔬
皮米级
计量精度(10⁻¹²m)
三全一前
全链·全周期·全溯源·前瞻研究

核心功能与特色

🔧

量子化纳米计量体系

依托同济大学原创量子化光晶格常数技术,开发精准复现新方法、现场计量新仪器、晶圆标准片制造新技术三大核心技术。

📊

一步校准直接溯源

传统纳米计量需多级量值传递"接力赛",量子化纳米标尺可在产业现场一步校准、直接溯源,大幅降低测量不确定度。

🎯

首个纳米级角度标准物质

研制出我国首个纳米级角度国家一级标准物质,系列光栅已有5项获批,稳定性与一致性均达皮米量级,国际领先。

🏅

工信部先进适用技术

入选工信部2025年第一批先进适用技术名单,是集成电路制造领域唯一入选项目,技术实力获国家层面认可。

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